基于超顺排碳纳米管薄膜的微纳结构制备及其在发光二极管中的应用

利用超顺排碳纳米管作为刻蚀掩膜,清华大学李群庆教授课题组实现了在半导体材料表面百纳米尺度微纳结构的制备。由于该碳纳米管薄膜可以以极低的成本进行大面积制备,这就使得此种方法在百纳米尺度微结构的制备方面极具优势。与传统LED器件相比,此种微纳结构可以极大的提高器件的出光效率。