Small:湿法化学刻蚀氧化锌(000)面的暴露晶面控制

北京大学电子学系陈清研究组借助原位液体透射电镜研究了氧化锌纳米带的(000)表面的湿法化学刻蚀过程;发现了一种通过氧等离子体处理可控暴露{01}高指数晶面的方法,并证实该方法对氧化锌纳米材料和体材料都适用;同时,该研究还为湿法化学刻蚀领域的微掩膜机制提供了直接的实验证据。