原位制备多层二硫化钼/硅的高速光电探测器

合肥工业大学材料科学与工程学院蒋阳教授课题组博士生张彦和于永强博士合作,利用浸渍提拉并两步高温退火处理的工艺方法,方便、可控的在n型重掺杂硅衬底上制备出大面积、高质量的多层二硫化钼薄膜,并原位构建出多层二硫化钼/硅垂直式n-n同型异质结型高速可见-近红外光探测器。