Nano Select:雾化化学沉积法生长氧化镓薄膜及高性能光电晶体管应用

西安电子科技大学微电子学院郝跃院士课题组研究应用了一种低成本的雾化化学沉积法,在硅衬底上生长了非晶氧化镓薄膜并制作性能优异的紫外光电晶体管,该生长技术设备结构简单、易操作、能耗低,很大程度降低了氧化镓薄膜的生长成本,并取得了高性能的光电晶体管。