Small Structures:同时具有高性能接触-非接触感应功能的边缘效应电容式传感器

美国斯坦福大学化学工程系的鲍哲楠课题组介绍了一种新型多功能边缘效应电容式压力传感器。该传感器具有金字塔型的微结构介电层,从而实现了接近感应功能(非接触模式),且同时具有压力感应的功能(接触模式)。在接触模式下,两个传感器的响应时间均小于20 ms,并且能响应低于0.5 Pa的负载。