InfoMat: 斯坦福大学崔屹教授-基于超薄硅晶圆的高性能双面晶体管

美国斯坦福大学材料科学与工程系崔屹教授团队首次利用无载体碱性刻蚀法,得到厚度为6-20 um的超薄硅晶圆,并作为衬底制备出双面高性能晶体管。

InfoMat: 基于无载体超薄硅晶圆的双侧晶体管器件加工性能

美国斯坦福大学材料科学与工程系崔屹教授团队首次利用无载体碱性刻蚀法,得到厚度为6-20 um的超薄硅晶圆,并作为衬底制备出双面高性能晶体管。