高温电容器介质薄膜:聚合物电介质表面纳米绝缘层的连续、快速沉积

清华大学李琦副教授、何金良教授等与宾夕法尼亚州立大学王庆教授合作提出了一种新的策略,利用等离子体增强化学气相沉积技术在介质薄膜表面快速构筑对温度稳定的宽禁带绝缘层(厚度仅为180纳米),抑制介质薄膜表面在高温、高电场下的电荷注入,从而得到在高温下性能稳定的电容器介质薄膜。