“纳米掩膜光刻“制造低成本红外天线阵列——助力等离激元增强生物振动光谱探测

近日,美国波士顿大学的Hatice Altug课题组,提出了纳米掩膜光刻(Nanostencil Lithography ,NSL)技术,用来制作高分辨率高效率低成本的等离激元天线。