Advanced Functional Materials:基于折纸磁薄膜的全柔性磁电式振动传感器

天津大学精密仪器与光电子工程学院黄显课题组提出了一种全柔性的微机电系统(MEMS)器件, 器件中柔性磁振子悬浮于多层柔性线圈和由折纸工艺实现的环形磁薄膜中构成磁电式振动传感器。传感器能够直接安装在柔性或弯曲表面,实现生物物理传感、运动检测、语音识别和机器状态评估等多种应用。