铌酸锂/二氧化硅复合微盘腔

南开大学张国权教授和薄方副教授课题组、孔勇发教授、许京军教授等与美国圣路易斯华盛顿大学杨兰教授课题组合作,发展了一种全新的与半导体工艺兼容的复合微腔制备技术,成功实现了高品质因子铌酸锂/二氧化硅复合微盘腔的批量制备,该复合微腔具有远优于二氧化硅微盘腔的全光与电光调控特性。