面向硬脆材料的精密制造技术——干法刻蚀辅助激光加工

清华大学孙洪波教授和吉林大学陈岐岱教授团队合作提出了一种干法刻蚀辅助飞秒激光加工复合技术,实现了蓝宝石微纳光学结构的快速精密制备。