Small:更平更大更低温—6英寸无褶皱高质量石墨烯单晶晶圆

中国科学院上海微系统与信息技术研究所石墨烯单晶晶圆制备研究取得新进展。由谢晓明研究员领导的石墨烯研究团队在较低温度(750℃)条件下采用化学气相外延成功制备6英寸无褶皱高质量石墨烯单晶晶圆。