掩膜板 - MaterialsViews中国

“纳米掩膜光刻“制造低成本红外天线阵列——助力等离激元增强生物振动光谱探测

2013年12月13日 by 方哲宇

近日，美国波士顿大学的Hatice Altug课题组，提出了纳米掩膜光刻（Nanostencil Lithography ，NSL）技术，用来制作高分辨率高效率低成本的等离激元天线。