Small:衬底形貌诱导的纳米级径向梯度圆阵列薄膜

哈尔滨工业大学“机器人技术与系统国家重点实验室”王振龙课题组提出衬底形貌诱导调控多元材料平面复杂分布的新方法。通过可设计的衬底微结构上多元材料沉积实现了横向截面上多元材料的复杂分布,并制备出分布精度为达18纳米的径向梯度圆阵列薄膜,为多元材料横向复杂分布提供了新的解决方法。