原子层沉积技术制备贵金属复杂纳米结构取得进展:低价高效Pt纳米管合成及其应用

最近德国伊尔姆瑙工业大学微电子及纳米技术研究所和物理所雷勇教授课题组通过一种新型的原子层沉积(ALD)技术实现了大面积、低贵金属Pt消耗的复杂纳米结构的可控生长,为贵金属Pt的高效利用,特别是在微纳米器件方面的工业化应用开辟了有效途径。