原子层沉积(ALD):能源转换和存储器件上的纳米工程技术

德国伊尔姆瑙理工大学雷勇教授课题组系统的总结了ALD技术的特点及优势,特别是针对具有挑战性的高纵横比纳米材料和结构的控制生长;另外根据这些特点深入的分析了ALD材料在能源储存和转换器件里面的主要功能和作用。