Small: 别有洞天——纳米球光刻技术

纳米球光刻(NSL)是一种简便、经济而有效的光刻技术,它利用高度单分散的纳米球作为沉积或刻蚀掩模来生成具有纳米孔洞结构特征的图形。将纳米孔洞结构嵌入到有机电子器件中,可以赋予有机电子器件独特的光电性能,极大地推动有机电子学的发展。与聚焦离子束光刻、电子束光刻等高功耗光刻技术相比,纳米球光刻具有功耗低、对有机活性层损伤小、制作方法简单等优点。