纤细光滑的金属线

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虽然超细金属线材的制备已被视为微电子应用的使能技术,研究者在使用传统的平版印刷和图像转移技术实现这一目标的过程中仍然遇到不少挑战。比如,根据金属膜的理化特性,粒径有可能与线材宽度相似,从而在晶粒边界造成断裂。

目前,新加坡、韩国和英国的研究者已经利用新的图案成型/还原技术合作生产出小于10nm的镍纳米线。他们首先将一种金属环烷酸盐沉积到表面,然后利用电子束进行图形化。 随后在富氢环境中进行还原,从而生成了低粗糙度、7nm宽的连续线材。

作者希望将该方法应用于除了热力学稳定性比水高且易形成金属氰化物的金属氧化物以外的其他金属环烷酸盐,包括铁、钴、钨和钼。

M. Nedelcu et al., Adv. Funct. Mater.; DOI: 10.1002/adfm.201000219