阳极氧化/金属辅助化学刻蚀复合新方法加工碳化硅纳米线

香港中文大学汪正平院士、赵铌教授团队联合广东工业大学陈新教授团队,提出了一种阳极氧化/金属辅助化学刻蚀复合加工新方法,在常温常压条件下实现了碳化硅纳米结构的可控加工。将为宽禁带半导体的加工提供新的途径,也将为工业上加工碳化硅器件所需的各种纳米线和纳米结构提供了一种经济可行的方法。